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모형: 20-2
상표: JCB
JCB-8818 MPCVD 장비 소개
장비의 주요 기술 매개 변수
1. 마이크로파 시스템 (선택적 전원 공급 장치에 따른)
◆ 작동 빈도 : 2450 ± 50MHz
◆ 출력 전원 : 1 ~ 10kW 지속적으로 조정 가능
◆ 냉각수 흐름 : 6-12L/분
◆ 시스템 정재 파동 계수 : VSWR≤1.5
◆ 마이크로파 누출 : <2 MW/CM2
◆ 수동 3 핀
◆ 안테나 조정 및 단락 피스톤 조정이 장착되었습니다
2. 진공 시스템 및 반응 챔버
◆ 누출 속도 <5 × 10pa .m '/s
◆ 이 기계는 0.5 PA 미만의 최종 압력에 도달 할 수 있으며 정확한 측정을 위해 수입 된 Pirani 진공 게이지가 포함되어 있습니다.
◆ 공동의 압력은 12 시간 동안 압력을 유지 한 후 50pa 이상 상승하지 않습니다.
◆ 공기 섭취 방법 : 최고 공기 섭취
◆ 기계에는 온도 측정을위한 4 개의 관찰 창이 있습니다.
◆ 입구 : 공동의 앞면에 위치합니다
3. 샘플 홀더 시스템
◆ 샘플 단계 직경 ≥73mm, 효과적인 사용 지름 ≥71mm
◆ 기판 테이블 수냉식 샌드위치 구조, 수직 리프팅
4. 피의 시스템
◆ 5-7 채널의 가스 옵션이있는 전체 금속 용접 가스 플레이트
◆ 장비 내부의 모든 공기 경로는 용접 또는 VCR 조인트를 사용합니다.
5. 시스템 냉각
◆ 3 방향 수냉식, 온도 및 흐름의 실시간 모니터링
◆ 시스템 냉각수 흐름 ≤50L/분, 냉각 수압 <4kg,
수온 온도 20-25c
6. 온도 측정 방법
◆ 외부 적외선 온도계, 온도 범위 300-1400RC
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